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XDS10/XDS5愛(ài)德華渦旋泵密封包詳細介紹

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Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵

Edwards 干式渦旋泵為各種應用提供成熟的干式清潔真空解決方案。

當需要無(wú)油抽空時(shí)，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

軸承護罩

確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染，從而延長(cháng)軸承使用壽命。

智能電機驅動(dòng)

意味著(zhù)全程穩定的性能、泵過(guò)載保護和遠程啟動(dòng)/停止功能。

高流速氣囊功能

允許泵送蒸汽，包括高達 240 gh-1 的水蒸汽

簡(jiǎn)便的單側渦旋設計

可在數分鐘內完成維護，以降低擁有成本并程度延長(cháng)正常運行時(shí)間。

更進(jìn)一步

增強型在初始抽空期間可減少多達 20％ 的峰值電力需求，這意味著(zhù)它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25％，這也有助于提高應用循環(huán)頻率。

XDS 干式渦旋泵

在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標準，在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方

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